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微波PLASMA的應用

微波PLASMA的應(yīng)用(yòng)



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360°無(wú)損傷工藝

1、等離子體電子密度更大; 

2、電離度更高;

3、粒子活性更強;

4、無需電極,裝置壽命更長;

5、等(děng)離子體不(bú)帶電,不會對精密電路造成(chéng)損害;

6、微波起振激勵等離子體時間快(毫秒級);


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